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天津大學擬819萬元采購一套聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)
2018年05月17日 11:40:42
來源：中國化工儀器網(wǎng) 點擊量：9235
作為中國所現(xiàn)代大學，天津大學是211工程、985工程首批重點建設(shè)的大學。學?？蒲袑嵙π酆?，始終聚焦國家重大戰(zhàn)略需求、聚焦世界科技發(fā)展前沿，取得了豐碩的成果。隨著中國經(jīng)濟實力的提高，大學實驗室建設(shè)也走向了更加專業(yè)化、規(guī)模化、完整化的道路。天津大學時刻注重提升學院的科研水平，積極完善儀器設(shè)備配置，培養(yǎng)更多人才。
【中國化工儀器網(wǎng) 本網(wǎng)視點】作為中國所現(xiàn)代大學，天津大學是211工程、985工程首批重點建設(shè)的大學。學?？蒲袑嵙π酆?，始終聚焦國家重大戰(zhàn)略需求、聚焦世界科技發(fā)展前沿，取得了豐碩的成果。隨著中國經(jīng)濟實力的提高，大學實驗室建設(shè)也走向了更加專業(yè)化、規(guī)?；?、完整化的道路。天津大學時刻注重提升學院的科研水平，積極完善儀器設(shè)備配置，培養(yǎng)更多人才。
實驗室是現(xiàn)代科學的搖籃，是培養(yǎng)科技人才的孵化器，實驗室儀器的購買關(guān)系到大學師資力量和教學水平的提高。近日，天津大學精儀學院就聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)項目進行公開招標。預算金額為819萬元，共采購一套聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)。
項目名稱：天津大學精儀學院聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)
項目編號：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)
一、采購項目的名稱、數(shù)量、簡要規(guī)格描述或項目基本概況介紹：
| 序號 | 設(shè)備名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 |
| 1 | 聚焦離子/電子雙束系統(tǒng) | 1套 | 具備離子束加工過程實時監(jiān)控功能 |
聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。在半導體行業(yè)有著重要作用，可用來切割納米級結(jié)構(gòu)，對光刻技術(shù)中的屏蔽板進行修補，制作透射電鏡樣品，分離和分析集成電路的各個元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導電性等等。
目前，我國的科研單位及高等院校在聚焦離子束曝光技術(shù)及其應用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成績。未來，隨著我國微電子工業(yè)的發(fā)展，聚焦離子束曝光技術(shù)及其應用技術(shù)也將被提高到新的水平。天津大學精儀學院此次添置這一設(shè)備，將為學科研究工作順利開展提供硬件支撐，意義重大。
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