簡單介紹：
智能型滑動式快速退火爐可搭配石英管、剛玉管使用，實現(xiàn)多種實驗功能。如用于CVD法制備石墨烯；還可廣泛用于各種反應溫度在25~1600℃左右的各種CVD實驗、真空燒結、氣氛保護燒結、納米材料制備、電池材料制備等多個研究領域。
詳情介紹：
在半導體工業(yè)中，硅是最基本的材料。智能型滑動式快速退火爐可用于硅片的摻雜后的退火處理。例如，在通過離子注入向硅片中引入硼（B）、磷（P）等雜質元素后，利用該退火爐能快速激活這些雜質原子，修復離子注入過程中硅晶格所受到的損傷。這有助于形成所需的 P - N 結，而 P - N 結是幾乎所有半導體器件（如二極管、晶體管）的基本結構單元。
像砷化鎵（GaAs）、氮化鎵（GaN）等化合物半導體材料，在光電子和高速電子器件領域應用廣泛。這種退火爐可以對它們進行退火，改善材料的晶體質量和電學性能。比如，對于 GaN 基的藍光發(fā)光二極管（LED）制造過程，退火能夠減少材料中的缺陷，提高 LED 的發(fā)光效率和壽命。
| 產品名稱 | 智能型滑動式快速退火爐 |
| 常規(guī)型號 | CY-T1200-50IT-MRTP（爐管直徑：50mm） |
| CY-T1200-60IT-MRTP（爐管直徑：60mm） | |
| CY-T1200-80IT-MRTP（爐管直徑：80mm） | |
| CY-T1200-100IT-MRTP（爐管直徑：100mm） | |
| 爐膛模式 | 一體式 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 升溫速率 | ≤20℃(建議:10℃/min) |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
| 溫區(qū)長度 | 440mm |
| 恒溫區(qū)長 | 260mm |
| 爐管可選 | 石英管、剛玉管 |
| 爐管長度 | 1000mm |
| 氣密性 | 4.03×10-3Pa |
| 控制模式 | 智能PID |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 測溫元件 | 根據(jù)使用溫度不同可選K型熱電偶或B型熱電偶 |
| 電氣認證 | CE認證 |
| 供電電源 | 220V 50Hz |
| 整機功率 | 2.5KW |
| 外形尺寸 | 630×470×610 mm |
| 售后服務 | 12個月質保，終身保修 |
| 包裝形式 | 三合板木質包裝箱 |
| 隨機配件 | 石英爐管;真空法蘭;爐管堵塞;O型密封圈;防護手套;坩堝爐鉤;說明書; |
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