自動X光測厚儀● 儀器系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
① 測量部分的結(jié)構(gòu)
用于照射（激發(fā)）的X射線是采用由上往下照射方式，用準(zhǔn)直器來確定X射線的光束大小。
樣品的觀察是利用與照射用的X射線同軸的CCD攝像機所攝制的圖像來確定想要測量的樣品位置。標(biāo)準(zhǔn)配備了多種尺寸的準(zhǔn)直器可根據(jù)需要調(diào)整照射X射線的光束大小來決定測量面積，最小可測量面積是40umф。
② X射線操作部分（X-ray station）
Excel和Word是標(biāo)準(zhǔn)配置，利用這些軟件，我們可以簡單快速地進行測量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計處理及測量結(jié)果報告書的編輯和打印。
● 儀器規(guī)格及參數(shù)
X射線管 | 油冷式超微細對焦點X射線管 靶材：鎢（W）、鋁（AL）、鉬（MO） 管電壓：0~50kv 管電流：0.1mA |
照射方式 | 由上往下垂直照射方式 |
檢測器 | 正比例計數(shù)管（PC） |
儀器校正 | 密度校正，標(biāo)準(zhǔn)樣品校正 |
檢測濾片 | Co片，Ni片可選 |
準(zhǔn)直器 | 固定型或自動型 |
固定型：可選0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm | |
自動型：0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm | |
輸入電壓 | AC220V |
溫度控制 | 前置放大及主機溫度控制 |
工作溫度 | 室溫（22~25℃） |
真空樣品室 排氣所需時間 | 沒有 |
可測量元素范圍 | 鈦（Ti）—鈾（U） |
可測量厚度范圍 | 原子序：22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um |
測量時間 | 10~30s |
操作接口 | Windows XP |
自動X光測厚儀
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