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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>凈化/清洗/消毒>其它凈化/清洗/消毒>WCS-200 晶圓清洗機

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WCS-200 晶圓清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 WCS-200
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/7/2 9:23:12
  • 訪問次數(shù) 1673
產(chǎn)品標(biāo)簽

清洗切割鍵合

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實驗設(shè)備供應(yīng)商：邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司，專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)，幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定，尊重他們的決定，并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果，追求豐富有意義的生活。




勻膠機，光刻機，顯影機，等離子清洗機，紫外臭氧清洗機，紫外固化箱，壓片機，等離子去膠機，刻蝕機，加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池

特點：

· 高壓或霧化噴霧清洗

· 擁有觸摸屏界面

· 可重復(fù)過程的快速啟動按鈕

· 自動透明蓋

· CDA 和 N2 輸入傳感器

 

WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。

晶圓清洗工藝通過觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以通過4個步驟對多達(dá)50個程序段進(jìn)行編程：

· 沖洗

· 吹掃

· N2干燥

· 旋轉(zhuǎn)

每個步驟可設(shè)置不同的速度和時間參數(shù)。


技術(shù)參數(shù)：

晶圓最大尺寸

8”/12”mm

晶圓清洗參數(shù)：

· 速度;

· 加速度；

· 清洗時間；

· 沖洗時間；

· N2干燥時間；


轉(zhuǎn)速范圍

500-3000 rpm

電源電壓

230VAC 50Hz 5A

CDA供給壓力

0.5-0.6 MPa

CDA 最大消耗量

3 m3/h

CDA 連接管

6 mm

去離子水 供給壓力

0.2-0.3 MPa

去離子水最大消耗量

100 L/h

去離子水連接管

6 mm

真空供應(yīng)

0.02-0.04 MPa

真空連接管

6 mm

排氣連接管

50 mm

尺寸

900x780x1280 mm

重量

110 kg

 




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