化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)> Model 6020 全自動(dòng)掩模曝光機(jī)

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Model 6020 全自動(dòng)掩模曝光機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
品牌 OAI
型號(hào)
產(chǎn)地 美國(guó)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/7/4 11:06:15
訪問(wèn)次數(shù) 88

產(chǎn)品標(biāo)簽

OAI 光刻機(jī)掩膜曝光機(jī)

在線交流發(fā)送詢(xún)價(jià) 進(jìn)入商鋪同類(lèi)產(chǎn)品

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FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國(guó)公司?；?/span> “Science is international”的想法，“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”成為三位博士追逐的夢(mèng)想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家，科學(xué)開(kāi)創(chuàng)美好未來(lái)。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域，始終秉承“前沿、專(zhuān)業(yè)、科學(xué)”的宗旨，將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程；材料科學(xué)的檢測(cè)、分析；生命科學(xué)成像，腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商，FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng)，能為客戶(hù)提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶(hù)領(lǐng)域廣泛，其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長(zhǎng)的過(guò)程中，我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來(lái)，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠(chéng)邀請(qǐng)業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM，一起為夢(mèng)想揚(yáng)帆起航！

展開(kāi)

半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

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Model 6020 全自動(dòng)掩模曝光機(jī)

Model 6020 全自動(dòng)掩模曝光機(jī)

6020 型是一款針對(duì)先布線型面板級(jí)*封裝（PLP）及大尺寸玻璃面板曝光市場(chǎng)需求而設(shè)計(jì)的大面積全自動(dòng)生產(chǎn)型掩模對(duì)準(zhǔn)器或自動(dòng)泛光曝光系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用 OAI *的光束光學(xué)技術(shù)，配備 1KW-8KW 功率的紫外光源，光束尺寸覆蓋 12 英寸 ×12 英寸至 20 英寸 ×20 英寸，提供均勻度≤3%-5% 的光束。在掩模對(duì)準(zhǔn)模式下，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)≤2.0μm 的光刻分辨率。

頂面 / 底面對(duì)準(zhǔn)

高吞吐量

1 千瓦–8 千瓦準(zhǔn)直光束光源，光束尺寸從 12 平方英寸到 20 平方英寸

光源光束均勻性達(dá) 3-5%

用于自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)的高速編碼器和電機(jī)

SECS/GEM 通信協(xié)議兼容性

多種面板處理能力

12 平方英寸到 20 平方英寸的面板

可選分步卡盤(pán)，用于子面板加工

14 平方英寸到 24 平方英寸的掩模插入件

楔形效應(yīng)調(diào)平

工藝重復(fù)性

<2.0 微米的印刷分辨率

遠(yuǎn)程診斷

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關(guān)鍵特性

高精度對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：可選配 Smart cam 高分辨率 CCD 相機(jī)系統(tǒng)，結(jié)合 OAI 圖案識(shí)別軟件，實(shí)現(xiàn)精確的頂面自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和便捷操作。
靈活的基板處理能力：支持從超薄到超厚及鍵合面板等多種基板厚度，基板卡盤(pán)具備 XYZ 軸及 θ 角運(yùn)動(dòng)功能，含步進(jìn)功能，可處理整版或拼接在大面板上的子面板。
自動(dòng)化集成方案：采用機(jī)器人上下料系統(tǒng)，可獨(dú)立運(yùn)行或與光刻膠處理設(shè)備集成。
工藝穩(wěn)定性保障：OAI 6020 系列在性能、可靠性和重復(fù)性方面優(yōu)秀表現(xiàn)，是先布線型面板級(jí)封裝生產(chǎn)及大面積玻璃面板曝光的理想選擇。

Model 6020 全自動(dòng)掩模曝光機(jī)