磁控濺射設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京世華尖鋒
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2017/7/17 17:04:09
- 訪問次數(shù) 1378
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著名的美國AJA磁控濺射系統(tǒng)和磁控濺射部件(主要是靶槍和電源、樣品臺等)〈br〉
各種分子泵,包括微型分子泵、磁懸浮分子泵、復(fù)合分子泵和耐腐蝕分子泵〈br〉
進(jìn)口的全系列羅茨泵、機(jī)械泵、干式真空泵、膜片泵、中高真空機(jī)組〈br〉
各種真空測量儀表、四極質(zhì)譜儀、在線氣體分析儀、氦質(zhì)譜檢漏儀和大型檢漏系統(tǒng)〈br〉
產(chǎn)品檢漏的解決方案,真空應(yīng)用解決方案〈br〉
工業(yè)鍍膜機(jī)、加工定做的各種真空裝置和真空機(jī)組〈br〉
各種真空閥門、精密定量進(jìn)氣閥門、精密位移工具和精密三軸操作器〈br〉
AJA是*的做磁控濺射的專家,愿意用多年的經(jīng)驗,為客戶提供的系統(tǒng),其磁控濺射系統(tǒng)設(shè)計*、型式多樣,能滿足科研和小規(guī)模生產(chǎn)的需要。目前在*范圍內(nèi)已經(jīng)安裝了250臺以上。
系統(tǒng)的腔體垂直放置,這樣可利用的空間zui大,一般濺射室的直徑從13英寸到34英寸,性能指標(biāo)如下:
濺射方向可以任意設(shè)置,包括向下、向上、水平方向。
zui多可以安裝12只靶槍,可以進(jìn)行直流或射頻濺射。
可以對基片進(jìn)行加熱、冷卻、RF偏壓、B磁場。
可以讓基片按要求運(yùn)動。
真空室可以達(dá)到2×10E-8Torr的真空度
膜厚均勻性可以達(dá)到優(yōu)于+/-2%在4英寸的基片上。
手動、半自動或全自動計算機(jī)控制。