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                                                               蔡康SEM高精度原位冷熱臺

一、儀器用途：

SEM高精度冷熱臺是一種安裝在掃描電鏡（SEM）上研究樣品原位變溫顯微結(jié)構(gòu)的附件。

產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式，提供-190~200℃（選型）或RT~600℃（選型）的變溫環(huán)境。

產(chǎn)品需要與溫度控制器、致冷控制器（選配）配套使用，配套的上位機(jī)控溫軟件方便進(jìn)行溫度設(shè)置及采集，提供的Labview Vis方便客戶進(jìn)行定制化編程。

二、儀器特點：

•電熱、液氮可實現(xiàn)快速升降溫

•可增加試樣溫度監(jiān)測溫度傳感器

•溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫

•可以在較大的電子束流下獲得高質(zhì)量圖像

•可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過程簡單

•制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達(dá)到RT，正常更換樣品，測試效率高。

三、儀器主要技術(shù)參數(shù)：

型號		CK200-190S	CK600-S
溫控模塊	冷熱方式	液氮制冷，電阻加熱	電阻加熱
	溫控范圍	-190~200℃*	RT~600℃*
	溫度穩(wěn)定性	±0.1
	溫度分辨率	0.1℃
	升降溫速率	0~50℃/min（可定點/程序段控溫）
	溫控方式	PID
	溫度傳感器	熱電偶
結(jié)構(gòu)特性	樣品臺尺寸	23×23mm*
	樣品臺材質(zhì)	銅質(zhì)*
	外形尺寸	75×75×23mm*
	整體重量	0.28kg
基本配置	SEM原位冷熱臺x1，溫度控制器x1，制冷控制器x1（低溫配置），液氮罐x1（低溫配置），定制連接法蘭x1，溫控軟件x1，循環(huán)水系統(tǒng)x1，連接管若干
選配	臺式電腦/安裝支架/定制控制軟件
備注	以上均為默認(rèn)參數(shù)，*為可定制項
其他可選	可按需求進(jìn)行配置

四、冷熱臺應(yīng)用案例：