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壓力測量中，除極少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。
任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關系，都是在某一壓力范圍內，超出這個范圍，關系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是標準電容薄膜真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數(shù)級(105～10-14pa)，沒有任何一種標準電容薄膜真空計能測量如此寬的壓力范圍，因此總是用幾種標準電容薄膜真空計分別管轄一定的區(qū)域。但由于各種標準電容薄膜真空計在原理上的差異.在相互銜接的區(qū)域，往往要造成較大的誤差。
在被測空間引起一定物理現(xiàn)象，還會出現(xiàn)這樣的問題，即從測量的角度出發(fā)，本需要一種單純的物理現(xiàn)象，但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現(xiàn)象，這些寄生現(xiàn)象不但給測量量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，*把主要現(xiàn)象掩蓋住了。
由上觀之，為改善標準電容薄膜真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現(xiàn)象，抑制寄生現(xiàn)象。
真空測量特點
1、測量壓力范圍寬，105～lO-14Pa。
2、大部分標準電容薄膜真空計是間接測量，只有壓力為105～lOPa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測量的壓力遠比上述為小，不能直接測量，應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。
3、多采用非電量電測技術。
4、大部分標準電容薄膜真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會造成很大誤差。
5、測量精度不高。
選擇標準電容薄膜真空計原則
1、在要求的壓力區(qū)域內有要求的精度。
2、被測氣體是否會損傷標準電容薄膜真空計;標準電容薄膜真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。
3、能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關否。
4、可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應時間長短。
5、穩(wěn)定性、復現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。
6、要看標準電容薄膜真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。
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