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半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤都有哪些尺寸？
半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤有各種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的，比晶圓尺寸稍大。常見的尺寸從直徑50毫米到超過300毫米不等。大多數(shù)卡盤有一個(gè)圓形（同心）環(huán)形真空設(shè)計(jì)，通?？梢匀菁{小管芯、一些晶圓和整個(gè)晶圓。例如，150毫米（6英寸）卡盤將有一個(gè)真空環(huán)形圖案，可以?shī)A住單個(gè)芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米的晶圓。
在半導(dǎo)體和液晶面板制造過程中，真空吸盤和機(jī)械吸盤系統(tǒng)經(jīng)常被用來(lái)固定加工用的基材。然而，由于吸附和變形的影響以及提高可靠性的要求，使用靜電的吸盤已被廣泛用于當(dāng)今一代半晶圓設(shè)備中，以克服這些限制。半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤由一個(gè)帶有表面電極的壓力板組成，通過高壓偏壓，在壓力板和芯片之間建立靜電力。
有兩種類型的靜態(tài)吸盤。它們的區(qū)別在于其介電性能，所以它們是產(chǎn)生夾持力的方式。庫(kù)侖卡盤的功能與傳統(tǒng)的電介質(zhì)電容器相似。J-R型的電阻大但有限，所以當(dāng)表面緊密接觸并施加電壓時(shí)，電流將流經(jīng)它和基體。電荷在基底和電介質(zhì)之間的界面上積累，以提供箝位力。此外，卡盤上不同配置的電極（或極）被用來(lái)獲得不同的特性。根據(jù)不同的應(yīng)用，有單極、雙極（兩極）和多極卡盤（包括六相六極型）。
1、半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤高電壓雙極輸出（正/負(fù)）。
2、輸出極性反轉(zhuǎn)功能使晶圓夾持/解夾更容易。
3、能夠通過電容測(cè)量（庫(kù)倫卡盤）或電流測(cè)量（J-R卡盤）檢測(cè)芯片的狀態(tài)。
4、模擬和數(shù)字接口可以很容易地集成到各種系統(tǒng)中。
5、高可靠性，機(jī)械繼電器的自由設(shè)計(jì)。
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