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電子遷移率光譜儀具有耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
電子遷移率光譜儀用于檢測空氣分子級污染（AMC)，在監(jiān)測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳感器反應迅速、監(jiān)測選擇性廣、性能穩(wěn)定。AirSentryII傳感器配有中央控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。AirSentryII傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應污染源和污染事件。
電子遷移率光譜儀的特點：
1.酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測
2.使用點、多點式、移動式監(jiān)測應用的通用產品配置
3.體積小，可放在任何位置
4.以太網，RS-232,4-20毫安輸出
5.連續(xù)監(jiān)測關鍵點
6.耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
7.長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性
8.每份測試成本
9.采樣方式靈活，對于稀有和貴重金屬的檢測和分析可以節(jié)約取樣帶來的損耗。
10.測試速率高，可設定多通道瞬間多點采集，并通過計算器實時輸出。
11.對于一些機械零件可以做到無損檢測，而不破壞樣品，便于進行無損檢測。
12.分析速度較快，比較適用做爐前分析或現(xiàn)場分析，從而達到快速檢測。
13.分析結果的準確性是建立在化學分析標樣的基礎上。
電子遷移率光譜儀應用：
1.在蝕刻技術位置里的實時腐蝕監(jiān)測
2.在關鍵的光刻系統(tǒng)內的實時胺類以及氨的監(jiān)測
3.化學過濾器有效率的資格確認
4.遍及潔凈室以及生產工具里的污染源的追蹤和去除
5.前端開口片盒圓晶片存儲模塊內的污染分析
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