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干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所*的。
干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。
影響干涉儀測(cè)量精度的主要因素：
1. 頻率穩(wěn)定性：在干涉儀中，將波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，頻率變化直接影響測(cè)量結(jié)果。
2. 大氣折射率。
3. 死程誤差：在零位時(shí)，干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會(huì)引起測(cè)量誤差，死程誤差是干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。
4. 余弦誤差：在測(cè)定三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的定位誤差時(shí)，需仔細(xì)調(diào)整，使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。
5. 脈沖當(dāng)量誤差：干涉儀顯示的最小一個(gè)數(shù)所對(duì)應(yīng)的量值稱為脈沖當(dāng)量。
6. 細(xì)分誤差：在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)，由插細(xì)分不均勻引起的誤差。
7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點(diǎn)調(diào)整到所測(cè)的直線上，否則由于滑座的角運(yùn)動(dòng)誤差引起阿貝誤差。
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