菲希爾X射線XDL230主要技術(shù)指標(biāo):(標(biāo)★為重要參數(shù))
1、測量原理:X射線熒光光譜法測量鍍層厚度
2、測量方式:無損檢測,可自動聚焦
3、元素測量范圍: Cl(17)--U(92),多可測量24種元素23層鍍層。
★4、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm
5、電動Z軸,手動/自動聚焦,可移動范圍≥140mm
★6、采用DCM(測量距離補償法)可遠(yuǎn)距離對焦測量腔體樣品,可達(dá)80mm深度
★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調(diào)節(jié),以滿足不同的測試需求。
★8、準(zhǔn)直器:φ0.3的圓形準(zhǔn)直器
9、X射線探測器:比例接收器
10、統(tǒng)計計算:數(shù)據(jù)組帶時間和時期功能,統(tǒng)計功能包含平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、大值、小值等;還可輸入公差范圍,計算CP和Cpk值,超范圍值時儀器應(yīng)有自動報警提示功能
11、windows7以上中文操作界面,WinFTM專業(yè)測試軟件,具備連接PC和打印機的USB借口
★12、測量誤差:鍍層厚度≥0.5um時,頂層鍍層測量精度≤5%
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