超凈室是半導(dǎo)體制造的“隱形基石”，其重要性遠(yuǎn)超單一設(shè)備（如光刻機(jī)）。它不僅保障了芯片生產(chǎn)的良率與可靠性，還為技術(shù)迭代和產(chǎn)業(yè)升級提供了底層支撐。超凈室對空氣潔凈度的嚴(yán)苛要求（如ISO 1-5級）, 超凈室需滿足ISO 14644-1潔凈度分級、SEMI（國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)）等行業(yè)規(guī)范，確保產(chǎn)品符合全球市場準(zhǔn)入要求。

芯片制造的工藝流程冗長復(fù)雜，多個(gè)工藝流程分布在不同區(qū)域，特別是在光刻、刻蝕、清洗、擴(kuò)散和離子注入等工藝，會(huì)產(chǎn)生揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）廢氣、酸性、堿性廢氣，這些潔凈室內(nèi)的廢氣及其產(chǎn)生的顆粒物統(tǒng)稱為氣態(tài)分子污染物AMC（Airborne molecular contamination）。AMC超標(biāo)，影響晶圓良率，導(dǎo)致生產(chǎn)成本急劇上升。小分子有機(jī)胺類物質(zhì)是AMC的主要成分，可能來源于建筑材料、清潔劑或人員活動(dòng)，這類物質(zhì)在空氣中反應(yīng)形成鹽類顆粒物，沉積在晶圓表面，其痕量殘留可導(dǎo)致半導(dǎo)體光刻膠變質(zhì)、可能對精密電子元器件制造、生物醫(yī)藥生產(chǎn)等關(guān)鍵工藝造成嚴(yán)重影響。

現(xiàn)有方法局限性

• 2024 年 6 月 5 日，全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員召開了團(tuán)標(biāo)準(zhǔn)制定的工作會(huì)

• 團(tuán)標(biāo)規(guī)定了對6種陰和6種陽離子(F-、Cl-、Br-、NO3-、PO43-、SO42-、Li+、Na+、NH4+、K+、Mg2+、Ca2+) 的離子色譜分析方法

× 對于有機(jī)胺分析的標(biāo)準(zhǔn)與方案仍存在空缺

× 傳統(tǒng)氣相氣質(zhì)法需衍生化和使用吸附管捕集氣體胺，前處理復(fù)雜步驟，操作繁瑣，熱不穩(wěn)定胺類易發(fā)生裂解，定量誤差顯著且單次分析耗時(shí)較長。

× 離子色譜電導(dǎo)檢測易受無機(jī)離子和基質(zhì)干擾，靈敏度較低，且僅依賴保留時(shí)間定性，易誤判。

× LCMSMS具有靈敏度高和特異性好的優(yōu)勢，但由于基于反相/親水作用色譜（HILIC），需通過調(diào)節(jié)流動(dòng)相pH或添加離子對試劑保留極性胺類。LC-MS/MS 更適用于同時(shí)檢測非離子型有機(jī)胺污染物（如酰胺、雜環(huán)胺）。某次超凈室污染事件中，LC-MS/MS因基質(zhì)干擾誤判為“乙胺污染”，后經(jīng)IC-MS/MS確認(rèn)實(shí)際為三甲胺。

哎呀，腦袋刮疼，

一聽說分析有機(jī)胺就腦袋瓜疼！

注 意：

賽默飛，掌管科學(xué)服務(wù)的神，

又來派發(fā)優(yōu)質(zhì)方案啦！

本研究創(chuàng)新點(diǎn)

將IC-MS/MS技術(shù)應(yīng)用于超凈室有機(jī)胺分析，結(jié)合離子色譜的高效分離與高分辨質(zhì)譜的高選擇性，實(shí)現(xiàn)無需衍生化痕量有機(jī)胺直接檢測，精確二級子離子定量，靈敏度高結(jié)果準(zhǔn)確可靠。用于檢測超凈室空氣中甲胺、二甲胺、乙胺等8種低分子量有機(jī)胺。通過優(yōu)化色譜分離條件與質(zhì)譜參數(shù)，目標(biāo)物在8分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)基線分離，方法檢出限（LOD）為0.05–0.5 μg/L，定量限濃度連續(xù)進(jìn)樣6針 RSD<8%。

為什么選擇高分辨質(zhì)譜？

最初我們曾經(jīng)在IC-QQQ上嘗試該方案，但由于有機(jī)胺廣泛存在于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境和系統(tǒng)中，加上相鄰分子量化合物的干擾，多數(shù)化合物具有很高的基線噪音，導(dǎo)致靈敏度和特異性較差。而Exploris Orbitrap 120 具有12萬的分辨率（mz=200時(shí)），對于分子量小于150aum的有機(jī)胺實(shí)際分辨率可達(dá)20萬以上，具有極強(qiáng)的分辨能力，質(zhì)量精度輕松達(dá)到亞ppm級。

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實(shí)驗(yàn)部分

儀器與試劑

• 儀器：賽默飛離子色譜系統(tǒng)（配備CS17陽離子分析柱、甲磺酸自動(dòng)淋洗液發(fā)生罐和2mm陽離子抑制器）+ Exploris Orbitrap 120（ESI正離子模式）；  

 • 標(biāo)準(zhǔn)品：甲胺鹽酸鹽、三乙胺、嗎啉等8種有機(jī)胺標(biāo)準(zhǔn)溶液； 

色譜與質(zhì)譜條件

• 色譜條件：淋洗液梯度（5→30 mmol/L甲烷磺酸），流速0.5 mL/min，柱溫40°C；  

 • 質(zhì)譜參數(shù)：離子源溫度400°C，離子傳輸管溫度300°C，F(xiàn)ull MS+PRM采集模式。 

結(jié)果展示

8中有機(jī)胺的色譜圖

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8中有機(jī)胺的線性曲線

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產(chǎn)品及方案優(yōu)勢

賽默飛離子色譜獨(dú)有的電解淋洗液發(fā)生器不但可以簡化操作，無需外接試劑和手配淋洗液，僅需一瓶超純水，即可通過電解獲得純度和濃度精準(zhǔn)的梯度淋洗液，獲得8種小分子有機(jī)胺類的分離；同時(shí)離子色譜特有的電解抑制器技術(shù)，可以將甲基磺酸梯度淋洗液經(jīng)過抑制器抑制后去除背景，獲得較低的背景電導(dǎo)率，使離子色譜分離后的溶液可以直接引入質(zhì)譜實(shí)現(xiàn)聯(lián)用。

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Orbitrap 具有超高的分辨率的同時(shí)，還具備高靈敏度、超高質(zhì)量精度、長期質(zhì)量軸穩(wěn)定了及實(shí)時(shí)正負(fù)切換等優(yōu)勢，已成為全球科學(xué)家蛋白和小分子化合物定量和定量研究的首選平臺。

應(yīng)對化合物定量時(shí)既可以選擇Full Scan和SIM進(jìn)行一級定量，也可以選擇PRM（平行反應(yīng)監(jiān)測）進(jìn)行二級定量，特別是有機(jī)胺的分析，精確二級子離子定量表現(xiàn)出很明顯的靈敏度和抗干擾優(yōu)勢，相比用一級精確質(zhì)量數(shù)定量，PRM模式可提高有機(jī)胺定量靈敏度2~5倍。

1) OE 120 PRM模式示意圖：

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2) 三乙醇胺PRM模式獲得的二級離子全掃譜圖：靈活選擇合適的子離子

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3) 乙醇胺full scan和PRM模式靈敏度對比

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總結(jié)：

今天向大家介紹了一個(gè)基于離子色譜串聯(lián)串聯(lián)高分辨質(zhì)譜分析有機(jī)胺的方法，能夠精準(zhǔn)識別超凈室環(huán)境中痕量有機(jī)胺污染，相比許多傳統(tǒng)方法，具有操作簡便、抗干擾能力強(qiáng)和靈敏度高的優(yōu)勢，適用于超凈室日常監(jiān)測與污染事件診斷。未來將進(jìn)一步開發(fā)在線預(yù)濃縮模塊，提升對超低濃度（ppt級）胺類的檢測能力。

參考文獻(xiàn)：

[1] Smith A, et al. J Chromatogr A. 2020;1621:461051.  

 [2] ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments.

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