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陜西易度智能科技有限公司

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  • 2025

    07-25

    MOCVD工藝中高溫氣體的流量控制

    在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)——金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)中,高溫環(huán)境下的氣體流量精準(zhǔn)控制直接決定了薄膜的質(zhì)量與器件的性能。傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)在高溫下常面臨精度漂移、穩(wěn)定性下降等挑戰(zhàn)。此時(shí),層流壓差式質(zhì)量流量控制器憑借其優(yōu)勢(shì)脫穎而出,成為MOCVD等高溫工藝中氣體精密輸送的可靠保障。層流壓差技術(shù)的核心優(yōu)勢(shì):穩(wěn)定、精準(zhǔn)、可靠層流壓差式MFC的核心原理在于利用氣體在特定流道內(nèi)形成的穩(wěn)定層流狀態(tài)。當(dāng)氣體流過(guò)精密設(shè)計(jì)的層流元件時(shí),其前后產(chǎn)生的壓差與質(zhì)量流量呈高度線性、可預(yù)測(cè)的關(guān)系。
  • 2025

    07-24

    響應(yīng)如電:易度層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)控制器的速度奧秘

    在現(xiàn)代工業(yè)的精密舞臺(tái)上,流量控制的響應(yīng)速度往往決定著工藝成敗。當(dāng)傳統(tǒng)流量計(jì)還在“追趕”流量變化時(shí),易度層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)控制器已如閃電般精準(zhǔn)響應(yīng)。這驚人的速度從何而來(lái)?其核心秘密,就藏在其工作原理與精巧設(shè)計(jì)之中。物理原理:天生的“快槍手”易度流量計(jì)的核心在于層流壓差原理。它引導(dǎo)被測(cè)流體(氣體或液體)通過(guò)內(nèi)部精密的層流流道,使其處于高度有序的“分層流動(dòng)”狀態(tài)。壓力波的速度是340m/s,傳感器毫秒級(jí)采集,流量測(cè)量最快可達(dá)1ms,物理定律本身就建立了最直接的“流量-信號(hào)”映射。這種原理上的簡(jiǎn)潔高效
  • 2025

    07-23

    層流壓差質(zhì)量流量計(jì):航空發(fā)動(dòng)機(jī)氣體流量測(cè)量的精密“聽(tīng)診器”

    在航空發(fā)動(dòng)機(jī)的研發(fā)過(guò)程中,精確測(cè)量氣體流量是解鎖其性能密碼的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。無(wú)論是核心機(jī)空氣流量、燃燒室燃?xì)饬髁?,還是引氣系統(tǒng)流量,傳統(tǒng)測(cè)量手段在發(fā)動(dòng)機(jī)復(fù)雜多變的工況面前常顯乏力。層流壓差質(zhì)量流量計(jì)憑借其測(cè)量原理,正逐漸成為發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)臺(tái)上的精密“聽(tīng)診器”。試驗(yàn)臺(tái)的核心挑戰(zhàn):動(dòng)態(tài)、高溫與精準(zhǔn)航空發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)臺(tái)模擬的是從地面啟動(dòng)到高空高速飛行的全包線工況。氣體參數(shù)變化劇烈:溫度可從常溫躍升至近千攝氏度,壓力波動(dòng)范圍極大,流速變化迅速。研發(fā)階段的關(guān)鍵測(cè)試,如喘振邊界探測(cè)、燃燒室效率標(biāo)定、渦輪冷卻流量?jī)?yōu)化等,都
  • 2025

    07-21

    國(guó)產(chǎn)層流壓差流量控制器技術(shù)介紹

    在精密制造與科研領(lǐng)域,氣體流量的精準(zhǔn)控制直接關(guān)系工藝質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。陜西易度智能科技有限公司依托自主研發(fā)的層流壓差技術(shù),推出了SC、MC、EC及P系列質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和質(zhì)量流量控制器(MFC),為我國(guó)半導(dǎo)體、新能源、生物制藥等領(lǐng)域提供了高可靠性的氣體測(cè)控解決方案。層流壓差技術(shù)是易度智能產(chǎn)品的核心優(yōu)勢(shì)。其原理是通過(guò)層流元件將湍流氣體轉(zhuǎn)化為規(guī)則的層流狀態(tài),利用壓差傳感器測(cè)量層流元件兩端的壓力差,再結(jié)合內(nèi)置的高精度溫度與壓力傳感器實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境波動(dòng),直接將工況流量轉(zhuǎn)化為標(biāo)況質(zhì)量流量。這一技術(shù)擺脫了傳
  • 2025

    07-17

    關(guān)于氣體質(zhì)量流量計(jì)精度對(duì)比,你想知道的都在這里了

    在與客戶的交流中,易度經(jīng)常收到這樣的反饋:將不同品牌流量計(jì)串聯(lián)測(cè)試時(shí),發(fā)現(xiàn)兩者的讀數(shù)存在差異。這是否意味著某一臺(tái)的精度不達(dá)標(biāo)?答案并非如此簡(jiǎn)單。作為精密測(cè)量設(shè)備,流量計(jì)的讀數(shù)差異往往由多種因素共同導(dǎo)致。本文將解析常見(jiàn)原因,幫助您科學(xué)理解對(duì)比測(cè)試結(jié)果。不同流量計(jì)讀數(shù)差異的常見(jiàn)原因01:流量計(jì)自身誤差疊加兩臺(tái)精度均為1%F.S.的流量計(jì)進(jìn)行串聯(lián)比對(duì),最差情況下可能相差接近2%F.S.,會(huì)讓人誤以為其中一臺(tái)精度超差了。02:氣體類型不一致假如通入空氣進(jìn)行測(cè)試,但是兩臺(tái)流量計(jì)的氣體類型并不都是空氣,讀數(shù)
  • 2025

    07-16

    層流壓差式質(zhì)量流量計(jì):檢漏儀中的精密衛(wèi)士

    在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)與質(zhì)量控制中,確保產(chǎn)品的密封性至關(guān)重要。無(wú)論是汽車零部件、空調(diào)制冷系統(tǒng)、醫(yī)療器械、包裝容器還是高精尖的半導(dǎo)體設(shè)備,微小的泄漏都可能導(dǎo)致性能下降、安全隱患或產(chǎn)品失效。檢漏儀作為檢測(cè)密封性的關(guān)鍵設(shè)備,其核心傳感器——流量計(jì)的性能直接決定了檢漏的精度、速度和可靠性。層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)憑借其工作原理和優(yōu)異的性能,已成為高精度檢漏儀的傳感元件。核心原理:層流與壓差的精確關(guān)聯(lián)層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的核心在于其內(nèi)部的層流元件(通常由大量細(xì)小、平行的通道構(gòu)成)。當(dāng)氣體流經(jīng)這些通道時(shí),在低雷諾數(shù)條件
  • 2025

    07-16

    智能國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器的多場(chǎng)景適配指南

    在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測(cè)等高精度工業(yè)場(chǎng)景中,氣體切換的精準(zhǔn)性與動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)的實(shí)時(shí)性直接影響工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品質(zhì)量。智能國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器(MFC)通過(guò)集成氣體數(shù)據(jù)庫(kù)、自適應(yīng)校準(zhǔn)算法及高穩(wěn)定性硬件設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了多場(chǎng)景下的高效適配。以下從核心功能、技術(shù)實(shí)現(xiàn)及典型應(yīng)用三方面展開(kāi)分析。一、核心功能:氣體切換與動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)的底層支撐內(nèi)置氣體數(shù)據(jù)庫(kù)與自動(dòng)校準(zhǔn)國(guó)產(chǎn)MFC(如易度智能MCF100系列)內(nèi)置100+種氣體參數(shù)庫(kù),覆蓋常見(jiàn)工藝氣體(如SiH?、N?、Cl?等)。當(dāng)氣體種類切換時(shí),設(shè)備可自動(dòng)調(diào)用對(duì)應(yīng)校
  • 2025

    07-16

    1毫秒極速響應(yīng):層流壓差氣體質(zhì)量流量計(jì)助力核工業(yè)精密控制

    在要求快速響應(yīng)速度的工業(yè)領(lǐng)域,氣體流量的瞬時(shí)精確掌控往往是核心挑戰(zhàn)。陜西易度智能科技有限公司近期成功為某核工業(yè)企業(yè)定制開(kāi)發(fā)了一款響應(yīng)時(shí)間達(dá)到驚人1毫秒(ms)的層流壓差式氣體質(zhì)量流量計(jì),為核工業(yè)流程的高精度、高可靠性運(yùn)行提供了關(guān)鍵保障。該流量計(jì)的核心突破在于將傳統(tǒng)層流壓差原理的響應(yīng)性能推向了全新高度。它通過(guò)革命性的微流道設(shè)計(jì)與傳感結(jié)構(gòu)優(yōu)化,將氣體流經(jīng)敏感元件并產(chǎn)生穩(wěn)定壓差信號(hào)的時(shí)間壓縮至毫秒級(jí)。其內(nèi)置的超高靈敏度微壓差傳感器與極低延遲的信號(hào)處理電路協(xié)同工作,能夠瞬時(shí)捕捉氣體流量的細(xì)微變化——速度
  • 2025

    07-14

    層流壓差式MFC,國(guó)產(chǎn)空燃比控制的可靠基石

    在追求高效、清潔、安全燃燒的工業(yè)領(lǐng)域,精確控制燃料與空氣的比例——空燃比,是核心關(guān)鍵。它直接決定了燃燒效率、污染物排放水平以及設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性與壽命。在這一核心環(huán)節(jié),易度智能推出的國(guó)產(chǎn)層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MFC),正以其技術(shù)路徑和超高性能,成為燃燒控制系統(tǒng)中值得信賴的“智慧調(diào)節(jié)閥”。易度智能MFC的核心技術(shù)精髓在于其采用的層流壓差式測(cè)量原理。這一原理巧妙地利用了流體力學(xué)的基本特性:當(dāng)氣體流過(guò)一段特殊設(shè)計(jì)的層流元件時(shí),在特定條件下,氣體分子會(huì)呈現(xiàn)出規(guī)則、平行的層狀流動(dòng)狀態(tài),即“層流”。在這種
  • 2025

    07-11

    易度智能高性能氣體質(zhì)量流量控制器推動(dòng)國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體芯片發(fā)展

    2025年西部半導(dǎo)體及電子博覽會(huì)即將在西安隆重開(kāi)幕。在這場(chǎng)聚焦中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)與供應(yīng)鏈安全的行業(yè)盛會(huì)上,國(guó)產(chǎn)化替代成為貫穿全場(chǎng)的主旋律。作為本次展會(huì)備受矚目的本土創(chuàng)新力量,陜西易度智能科技有限公司將展示其自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與控制器系列產(chǎn)品——這些突破“卡脖子”技術(shù)的關(guān)鍵部件正在重塑中國(guó)半導(dǎo)體裝備的“呼吸系統(tǒng)”。國(guó)產(chǎn)化突破:從技術(shù)依賴到自主創(chuàng)新陜西易度智能科技有限公司并非行業(yè)中的陌生面孔。這家專注研發(fā)制造業(yè)微流量控制核心器件的企業(yè),憑借自主研發(fā)十余年的技術(shù)積淀,已成為國(guó)內(nèi)極少數(shù)掌
  • 2025

    07-09

    質(zhì)量流量控制器安裝方向解析:層流壓差式的“自由”與熱式的“規(guī)矩”

    在精密工業(yè)流程控制、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、半導(dǎo)體制造乃至醫(yī)療設(shè)備中,質(zhì)量流量控制器(MFC)扮演著“氣體血液”調(diào)控者的關(guān)鍵角色。它精確計(jì)量并控制氣體流過(guò)管道的質(zhì)量流量(單位如SCCM、SLPM),其精度直接關(guān)乎工藝成敗。然而,一個(gè)常被忽視卻至關(guān)重要的環(huán)節(jié)便是安裝方向——它看似簡(jiǎn)單,實(shí)則深刻影響著MFC的核心性能與使用壽命。本文將深入剖析基于層流壓差式與熱式兩種主流原理的MFC在安裝方向上的顯著差異及其背后的科學(xué)原理。層流壓差式MFC:突破方向桎梏的“自由戰(zhàn)士”核心原理:層流壓差式MFC的基石在于哈根-泊肅
  • 2025

    07-01

    液體質(zhì)量流量計(jì):半導(dǎo)體超聲波噴涂工藝的“精密脈搏守護(hù)者”

    在追求精度與微觀控制的半導(dǎo)體制造王國(guó)中,每一項(xiàng)工藝都如同精密的瑞士鐘表,容不得絲毫偏差。超聲波噴涂技術(shù),憑借其能產(chǎn)生極其均勻、微細(xì)液滴的能力,已成為光刻膠涂覆、薄膜沉積、晶圓封裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的寵兒。然而,這項(xiàng)優(yōu)雅技術(shù)的背后,潛藏著一個(gè)核心挑戰(zhàn):如何對(duì)微量噴涂液體實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、直接、高精度的質(zhì)量流量控制?這正是層流壓差式液體質(zhì)量流量計(jì)大放異彩的舞臺(tái)。在半導(dǎo)體超聲波噴涂設(shè)備中,層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)被戰(zhàn)略性地安裝在霧化噴頭前的供液管路上,如同為工藝裝上了“智能流量閥門”:“穩(wěn)”字當(dāng)頭,厚度無(wú)憂:實(shí)時(shí)、高精度
  • 2025

    06-30

    部分工況對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)低壓損的要求

    在現(xiàn)代工業(yè)的精細(xì)脈絡(luò)中,壓縮空氣系統(tǒng)、生物制藥發(fā)酵罐、半導(dǎo)體特氣輸送、分布式能源站等關(guān)鍵場(chǎng)景,對(duì)流體測(cè)量提出了一個(gè)看似矛盾卻至關(guān)重要的要求:在精確掌控質(zhì)量流量的同時(shí),必須將流體通過(guò)流量計(jì)產(chǎn)生的壓力損失(壓損)降低。過(guò)高的壓損不僅直接消耗寶貴的泵送能量,更可能干擾精密工藝流程的穩(wěn)定性,甚至縮短設(shè)備壽命。此時(shí),基于層流壓差測(cè)量原理的質(zhì)量流量計(jì)(MFM)憑借其天生的低壓損特性脫穎而出,成為這些敏感工況中的理想選擇。低壓損需求:能耗與工藝痛點(diǎn)能耗敏感系統(tǒng):在大型壓縮空氣管網(wǎng)或中央空調(diào)水系統(tǒng)中,泵/風(fēng)機(jī)是
  • 2025

    06-26

    精控氣流脈搏:層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)賦能氣體報(bào)警儀

    在守護(hù)工業(yè)安全的氣體報(bào)警儀中,泵吸功能如同警覺(jué)的呼吸系統(tǒng),持續(xù)將可疑氣體樣本吸入核心檢測(cè)單元。這一過(guò)程中,流量的精確測(cè)量如同精準(zhǔn)的脈搏監(jiān)控——流量過(guò)大,稀釋待測(cè)氣體,可能錯(cuò)過(guò)危險(xiǎn)信號(hào);流量過(guò)小,則延長(zhǎng)響應(yīng)時(shí)間,遲滯預(yù)警。此時(shí),基于層流壓差原理的質(zhì)量流量計(jì)(MFM)憑借其性能優(yōu)勢(shì),成為氣體報(bào)警儀中流量控制的“哨兵”。傳統(tǒng)體積流量測(cè)量常因氣體溫度、壓力變化而“失準(zhǔn)”,猶如在顛簸風(fēng)浪中測(cè)量水流。層流壓差式MFM的核心突破在于其內(nèi)置的精密層流元件——它如同一條極度規(guī)整的“分子高速路”。當(dāng)氣體流經(jīng)其中細(xì)如
  • 2025

    06-25

    氣體質(zhì)量流量計(jì)維護(hù)與校準(zhǔn)

    氣體質(zhì)量流量計(jì)作為工業(yè)生產(chǎn)中測(cè)量氣體流量的核心設(shè)備,其精度和穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品質(zhì)量、工藝控制及能源效率。為確保設(shè)備長(zhǎng)期可靠運(yùn)行,需從日常維護(hù)、定期校準(zhǔn)、故障預(yù)防等方面制定系統(tǒng)性措施。以下為具體策略:一、日常維護(hù):降低故障率的基礎(chǔ)保障傳感器清潔與防護(hù)清潔周期:每3-6個(gè)月清潔一次傳感器表面(視環(huán)境粉塵量調(diào)整)。操作方法:使用干燥壓縮空氣或軟毛刷清除積塵,避免使用化學(xué)溶劑或尖銳工具(如螺絲刀)刮擦傳感器,防止損傷敏感元件。防護(hù)措施:在粉塵、油霧嚴(yán)重的環(huán)境中,加裝防護(hù)濾網(wǎng)或預(yù)過(guò)濾裝置,減少污染物直接接
  • 2025

    06-25

    國(guó)產(chǎn)替代浪潮下,質(zhì)量流量控制器如何破局?

    在半導(dǎo)體制造車間里,一臺(tái)臺(tái)精密設(shè)備正在安靜運(yùn)行。晶圓表面刻蝕過(guò)程中,氣體流量控制的精度直接決定了芯片的良品率。長(zhǎng)期以來(lái),這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的質(zhì)量流量控制器(MFC)幾乎依賴進(jìn)口,成為我國(guó)制造業(yè)的“卡脖子”難題。隨著中美科技競(jìng)爭(zhēng)加劇,半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)對(duì)核心零部件的自主可控需求日益迫切。以陜西易度智能為代表的中國(guó)科技企業(yè)通過(guò)十年磨一劍的技術(shù)攻堅(jiān),在層流壓差式MFC領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。國(guó)產(chǎn)替代的緊迫現(xiàn)狀質(zhì)量流量控制器(MFC)作為精密測(cè)控流體的核心部件,在半導(dǎo)體制造、新能源、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域扮
  • 2025

    06-24

    新材料鍍膜涂層工藝中質(zhì)量流量控制器的核心價(jià)值

    質(zhì)量流量控制器在新材料研發(fā)與生產(chǎn)領(lǐng)域,鍍膜、涂層技術(shù)扮演著至關(guān)重要的角色。無(wú)論是賦予材料硬度、耐腐蝕性,還是實(shí)現(xiàn)精密光學(xué)性能、特定電學(xué)特性,其核心工藝——如物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)、等離子噴涂等——都極度依賴對(duì)參與反應(yīng)或載運(yùn)氣體的精確、穩(wěn)定、可重復(fù)的流量控制。質(zhì)量流量控制器(MFC)正是保障這一控制精度的核心傳感器與執(zhí)行單元。而在眾多MFC技術(shù)路線中,基于層流壓差測(cè)量原理的MFC,憑借其優(yōu)勢(shì),成為應(yīng)對(duì)新材料嚴(yán)苛工況的理想解決方案。直面挑戰(zhàn):新材料鍍膜涂
  • 2025

    06-23

    質(zhì)量流量控制器:精密流體輸送的守護(hù)者

    在現(xiàn)代工業(yè)的精密脈絡(luò)中——從半導(dǎo)體芯片的納米級(jí)蝕刻到生物制藥的純凈反應(yīng),再到實(shí)驗(yàn)室探索的微觀世界——精確控制氣體或液體的質(zhì)量流量如同精準(zhǔn)的脈搏,直接關(guān)乎工藝成敗與產(chǎn)品質(zhì)量。實(shí)現(xiàn)這一精準(zhǔn)控制的核心器件,便是質(zhì)量流量控制器(MFC)。它如同一位無(wú)形的“流量指揮家”,實(shí)時(shí)感知流體流過(guò)的大小,并迅速調(diào)整閥門開(kāi)度,確保實(shí)際流量毫厘不差地跟隨設(shè)定值。在眾多測(cè)量原理中,層流壓差式與熱式是應(yīng)用最為廣泛的兩大技術(shù)路線,它們各具特色,而層流壓差式在多個(gè)關(guān)鍵維度展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。原理探微:兩條不同的感知路徑熱式MFC:
  • 2025

    06-20

    層流壓差式質(zhì)量流量控制器的優(yōu)勢(shì)探析

    在精密氣體流量控制領(lǐng)域,層流壓差式質(zhì)量流量控制器(MFC)以其工作原理和性能,成為眾多工況應(yīng)用的選擇。其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:穩(wěn)定可靠,精度高:層流壓差式MFC的核心在于其內(nèi)部的層流元件。當(dāng)氣體流過(guò)該元件時(shí),被強(qiáng)制形成穩(wěn)定、有序的層流狀態(tài),消除了湍流帶來(lái)的隨機(jī)干擾。此時(shí),氣體流經(jīng)元件產(chǎn)生的壓差與氣體的質(zhì)量流量直接呈現(xiàn)高度線性、可重復(fù)的關(guān)系。這種物理特性是穩(wěn)定測(cè)量的基石,結(jié)合精密的壓差傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù),使其能夠?qū)崿F(xiàn)超高的測(cè)量和控制精度(通常在±1%FS或更高)及出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,尤其適合
  • 2025

    06-19

    不同品牌的質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量結(jié)果有差異的解決方案

    很多客戶在購(gòu)買了層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器后,會(huì)和其他廠商的熱式或者層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器進(jìn)行測(cè)量結(jié)果對(duì)比,往往兩種不同品牌或者原理的產(chǎn)品比對(duì)結(jié)果會(huì)有差異,有時(shí)偏大有時(shí)偏小,有的是線性偏大或者線性偏小,那么出現(xiàn)這種情況的原因是什么呢?具體的解決方案是什么呢?當(dāng)測(cè)控的流量是線性偏大或者偏小的時(shí)候,首先考慮兩種不同品牌的質(zhì)量流量計(jì)是否是設(shè)置的同一種介質(zhì),不同的介質(zhì)粘度系數(shù)不一樣,會(huì)存在測(cè)量的數(shù)值線性偏大或者偏小,導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果偏差;再考慮兩種不同品牌的質(zhì)量流量計(jì)是否是同一種標(biāo)況
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