OKANO岡野 皮拉尼真空計 APG-202N32-10-18

OKANO岡野 皮拉尼真空計 APG-202N32-10-18

輕薄緊湊，傳感器耐用，價格低廉。 一種新的皮拉尼真空計誕生了。

真空計：窺探真空世界的精密“眼睛”

真空計，也被稱為真空規(guī)，是專門用于測量低于大氣壓（即真空環(huán)境）下氣體壓強的儀器。它是真空技術領域的核心傳感器，如同設備的“眼睛”，精確感知并量化真空腔體內(nèi)的稀薄氣體狀態(tài)。其測量范圍極其寬廣，跨越十幾個數(shù)量級（從接近大氣壓的 10^5 Pa 到超高真空的 10^{-12} Pa 以下），針對不同的壓強區(qū)間，需要采用基于不同物理原理的真空計。

真空計是探索和駕馭真空世界的基石。從簡單的機械式到精密的電容薄膜式和電離規(guī)，不同類型各司其職，共同覆蓋了從粗真空到真空的廣闊范圍。它們以其精確的測量能力、對過程控制的關鍵作用以及對產(chǎn)品質(zhì)量和安全運行的保障，深刻影響著半導體、材料科學、光學、航空航天、能源、醫(yī)療等眾多科技領域的發(fā)展。選擇合適的真空計并正確使用和維護，是確保真空系統(tǒng)高效、可靠運行的關鍵所在。

產(chǎn)品規(guī)格

主要類型、工作原理與核心特點

電容薄膜真空計：

原理： 利用氣體壓力使超薄金屬膜片產(chǎn)生微小形變，通過檢測膜片與固定電極間電容的變化來測量壓強。

特點：

量程： 寬量程，覆蓋粗真空到高真空（大氣壓 ~ 10^{-4} Pa 或更低）。

優(yōu)點： 測量結果與氣體種類無關（絕對壓強計），精度高、穩(wěn)定性好、響應快、耐腐蝕（選擇合適的膜片材料）、無污染、可測量分壓。

缺點： 成本相對較高，過載可能損壞膜片，復雜環(huán)境需特殊設計。

復合真空計：

原理： 將兩種或多種類型的真空計（如皮拉尼計 + 冷陰極電離規(guī) / 熱陰極電離規(guī)）集成在一個系統(tǒng)或探頭中。

特點：

量程： 覆蓋極寬范圍（從大氣壓到超高真空）。

優(yōu)點： 單一系統(tǒng)實現(xiàn)全量程覆蓋，簡化設備，無縫切換，尤其適用于真空過程控制。常用組合是皮拉尼（低中真空） + 電離規(guī)（高真空）。

缺點： 系統(tǒng)相對復雜，成本較高。