OKANO岡野 T型真空計(jì) NMT-2000-02

OKANO岡野 T型真空計(jì) NMT-2000-02

真空計(jì)：窺探真空世界的精密“眼睛”

真空計(jì)，也被稱為真空規(guī)，是專門用于測(cè)量低于大氣壓（即真空環(huán)境）下氣體壓強(qiáng)的儀器。它是真空技術(shù)領(lǐng)域的核心傳感器，如同設(shè)備的“眼睛”，精確感知并量化真空腔體內(nèi)的稀薄氣體狀態(tài)。其測(cè)量范圍極其寬廣，跨越十幾個(gè)數(shù)量級(jí)（從接近大氣壓的 10^5 Pa 到超高真空的 10^{-12} Pa 以下），針對(duì)不同的壓強(qiáng)區(qū)間，需要采用基于不同物理原理的真空計(jì)。

真空計(jì)是探索和駕馭真空世界的基石。從簡(jiǎn)單的機(jī)械式到精密的電容薄膜式和電離規(guī)，不同類型各司其職，共同覆蓋了從粗真空到真空的廣闊范圍。它們以其精確的測(cè)量能力、對(duì)過程控制的關(guān)鍵作用以及對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和安全運(yùn)行的保障，深刻影響著半導(dǎo)體、材料科學(xué)、光學(xué)、航空航天、能源、醫(yī)療等眾多科技領(lǐng)域的發(fā)展。選擇合適的真空計(jì)并正確使用和維護(hù)，是確保真空系統(tǒng)高效、可靠運(yùn)行的關(guān)鍵所在。

主要類型、工作原理與核心特點(diǎn)

電離真空計(jì)：

熱陰極電離規(guī) (如 Bayard-Alpert 規(guī))：

原理： 加熱燈絲發(fā)射電子，電子在柵極加速下獲得能量，與氣體分子碰撞使其電離；產(chǎn)生的正離子被收集極收集，離子流大小與氣體壓強(qiáng)成正比。

特點(diǎn)：

量程： 高真空至超高真空范圍（10^{-1} ~ 10^{-10} Pa）。

優(yōu)點(diǎn)： 靈敏度高、測(cè)量下限極低（可達(dá)超高真空）、精度較高。

缺點(diǎn)： 熱燈絲易被氧化或化學(xué)活性氣體燒毀，啟動(dòng)需要預(yù)熱，測(cè)量結(jié)果依賴氣體種類（需校準(zhǔn)），存在電子誘導(dǎo)脫附（EID）和軟X射線效應(yīng)限制測(cè)量下限。

冷陰極電離規(guī) (如潘寧規(guī)、反磁控規(guī))：

原理： 利用強(qiáng)磁場(chǎng)和高壓電場(chǎng)使自由電子作螺旋運(yùn)動(dòng)，增加碰撞電離概率，形成自持放電。放電電流與氣體壓強(qiáng)相關(guān)。

特點(diǎn)：

量程： 中真空至高真空范圍（1 ~ 10^{-7} Pa）。

優(yōu)點(diǎn)： 無易損熱燈絲，耐惡劣氣氛（如存在可凝性蒸氣或化學(xué)活性氣體），結(jié)構(gòu)相對(duì)堅(jiān)固，啟動(dòng)快。

缺點(diǎn)： 可能存在放電不穩(wěn)定或滯后現(xiàn)象，在很低壓力下啟動(dòng)困難，測(cè)量結(jié)果依賴氣體種類，精度通常略遜于熱陰極規(guī)。